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光學(xué)平臺作為當代精密實(shí)驗不可缺少的一種設備,在光學(xué)研究中的應用具有非常大的潛力。使用光學(xué)平臺為各類(lèi)精密光學(xué)實(shí)驗提供一個(gè)穩定的振動(dòng)隔離環(huán)境,已經(jīng)是光學(xué)實(shí)驗室的重要組成部分。
減振是工程上防止設備振動(dòng)危害的主要手段。設備減振可分為主動(dòng)減振和被動(dòng)減振。
橡膠減振器在工業(yè)行業(yè)中是一種重要的減振元件,很多機械設備比如水泵、柴油發(fā)電機、風(fēng)機、空壓機等都缺不了橡膠減振器。橡膠減振器之所以被廣泛應用,主要是擁有這些特性:
半導體設備是指光刻機、晶圓檢測設備等,這類(lèi)設備的精度要求都非常高,對振動(dòng)均非常敏感,通常需求主動(dòng)減振器才能滿(mǎn)足要求,也有檢測類(lèi)設備被動(dòng)減振器即可滿(mǎn)足。這類(lèi)設備的減振器是標配產(chǎn)品,減振器能抑制振對設備運行的影響,保證設備的穩定性和納米精度要求。