半導體設備是指光刻機、晶圓檢測設備等，這類(lèi)設備的精度要求都非常高，對振動(dòng)均非常敏感，通常需求主動(dòng)減振器才能滿(mǎn)足要求，也有檢測類(lèi)設備被動(dòng)減振器即可滿(mǎn)足。這類(lèi)設備的減振器是標配產(chǎn)品，減振器能抑制振對設備運行的影響，保證設備的穩定性和納米精度要求。

半導體設備如何選擇減振器

在選擇減半導體減振器設備之前，首先要了解周邊的環(huán)境和設備的詳細參數。只有將這些因素整理清楚，才可以進(jìn)行減振器的選型，當然對于安裝的時(shí)候才能夠更好的去做到細節上的安裝，設備減振器的使用帶動(dòng)的是不斷的環(huán)境上的改善, 將所有的減震細節和環(huán)境進(jìn)行相結合，給出的是更多的方案，對于工業(yè)生產(chǎn)中的安裝來(lái)說(shuō)是非常的重要的。

三思THA系列主動(dòng)減振器

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 輕巧便捷，安裝方便，無(wú)需氣源，電源接入，即插即用

· 手動(dòng)調節水平，簡(jiǎn)捷操作，節省成本
· 六自由度傳感器反饋信號到電機實(shí)施主動(dòng)反向推力消除振動(dòng)


· 可實(shí)時(shí)監控

產(chǎn)品參數

半導體生產(chǎn)對于設備減振器的需求是很大的，因為基本上每一個(gè)半 導體的生產(chǎn)環(huán)節都是用到了設備減振器的，而好的設備減振方案和好的設備減振器是能夠帶動(dòng)生產(chǎn)環(huán)境的良好發(fā)展，對于半導體行業(yè)的發(fā)展也是相當的重要。

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