產(chǎn)品特性：

THA系列主動(dòng)減振器主要應用于一些對微振敏感的高端檢測設備、精密儀器，以及對穩定性要求極高的半導體行業(yè)的運動(dòng)平臺。

當長(cháng)行時(shí)間的圖像采集和持續的探針測量，就需要穩定的微振解決設備，比如THA1和THA2。同時(shí)一些高端的運動(dòng)平臺也需要主動(dòng)減振，不但能提供優(yōu)異的減振性能，同時(shí)能讓運動(dòng)平臺快速的穩定下來(lái)，達到納米級精度，保持設備的穩定性，提高設備的生產(chǎn)效率，比如THA3系列。






產(chǎn)品特點(diǎn)：

·輕巧便捷，安裝方便，無(wú)需氣源，接入電源即可使用
·手動(dòng)/自動(dòng)調節水平，操作簡(jiǎn)便
·6自由度振動(dòng)信號實(shí)時(shí)檢測，執行器提供推力，主動(dòng)衰減振幅

·實(shí)時(shí)監控臺面振動(dòng)

產(chǎn)品應用：

顯微鏡、光學(xué)設備、檢測設備等

傳遞率







規格參數








產(chǎn)品特點(diǎn)：

·THA2系列氣浮式主動(dòng)減振，針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設備而研發(fā)
·采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎隔振，即使在安裝現場(chǎng)環(huán)境有不規律的沖擊振動(dòng)時(shí)，也能確保持續的振動(dòng)穩定性

·三思自研的THA主動(dòng)減振系統，實(shí)現6自由度主動(dòng)減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結合，在低頻范圍提供出色的隔振效果

·可選電控自動(dòng)調平系統或機械調平系統，自動(dòng)調整水平，一鍵啟動(dòng)減振

產(chǎn)品應用：

顯微鏡、光學(xué)設備、檢測設備等

傳遞率



規格參數

產(chǎn)品結構說(shuō)明：

產(chǎn)品特性

1. 安裝方便，無(wú)需氣源，接入電源即可使用；

2. 手動(dòng)調節水平，操作簡(jiǎn)便；

3. 模塊化的主動(dòng)減振器，可根據設備重量和尺寸，制作成各種平臺；

4. 6自由度振動(dòng)信號實(shí)時(shí)檢測，執行器提供推力，主動(dòng)衰減振幅；

5. 實(shí)時(shí)監控臺面振動(dòng)。

產(chǎn)品應用

顯微鏡、光學(xué)設備、檢測設備等

產(chǎn)品特性

1. THA3系列氣浮式主動(dòng)減振，為光刻機等運動(dòng)平臺設備而研發(fā)，消減大質(zhì)量滑塊運動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)；

2. 采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎隔振，即使在安裝現場(chǎng)環(huán)境有不規律的沖擊振動(dòng)時(shí)，也能確保持續的振動(dòng)穩定性；

3.三思自研的THA主動(dòng)減振系統，實(shí)現6自由度主動(dòng)減振。地面振動(dòng)前饋與反饋控制相結合，提供出色的隔振效果；；

4. 運動(dòng)前饋與速度反饋控制結合，有效消減平臺運動(dòng)加速度，快速穩定平臺振動(dòng)；

5. 閥控氣動(dòng)調平系統，可自由調整各減振器高度，一鍵啟動(dòng)減振。

產(chǎn)品應用

半導體設備，及高精度、高速度加速度的精密運動(dòng)平臺等

產(chǎn)品用途：

顯微鏡、光學(xué)設備、檢測設備等靜態(tài)設備或微動(dòng)設備