平臺振動(dòng)的周期或頻率與初始( 或外界) 條件無(wú)關(guān)，而只與系統的固有特性有關(guān)，稱(chēng)為光學(xué)平臺的固有頻率或者固有周期。通常來(lái)說(shuō)，固有頻率越低，系統的隔振性能就越強。

外界振動(dòng)同物體的固有頻率相同時(shí)，通常會(huì )引起共振，往往不是好事，甚至會(huì )產(chǎn)生嚴重后果，比如：正常人體的固有頻率為7.5Hz 左右，其中各部分又有自己的固有頻率，如內臟為4 ～ 6Hz，頭部為8 ～ 12Hz 等，正是由于這個(gè)原因，次聲波（10-5 ～ 20Hz）對人體有很大的破壞。

固有頻率還分為水平方向和豎直方向，但通常來(lái)說(shuō)豎直方向的固有頻率對整體隔振性能的影響，起到?jīng)Q定性作用，水平方向的固有頻率指標通常用于參考。

振動(dòng)恢復時(shí)間（Damping Settling Time）:

也叫衰減周期，是指：某一點(diǎn)上開(kāi)始振動(dòng)到恢復到初始狀態(tài)所需要的最短時(shí)間。若把光學(xué)平臺簡(jiǎn)化為彈簧振子，由彈簧振子的回復力表達式：
計算可知，彈簧振子的周期公式為：

從上式分析可知：若要縮短光學(xué)平臺的振動(dòng)恢復時(shí)間，通常有兩個(gè)辦法：

● 增大彈簧的彈性系數k。對于阻尼隔振平臺，可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料；對于充氣平臺，可以適度增加空氣壓力

● 控制光學(xué)平臺臺面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下，臺面質(zhì)量越輕，振動(dòng)恢復時(shí)間越短，使用效果就越好。

平面度（Surface Flatness）：

光學(xué)平臺的平面度，通常是指單位面積內，被測實(shí)際表面相對其理想平面的變動(dòng)量。通常國外光學(xué)平臺的平面度指標為：±0.1mm/600mm×600mm。

但嚴格意義上來(lái)說(shuō)，光學(xué)平臺平面度，對于隔振性能，沒(méi)有任何影響，甚至若為了追求高平面度，往往會(huì )犧牲掉光學(xué)平臺的隔振性能，原因如下：

● 我們知道，光學(xué)平臺臺面，若為達到高平面度，通常需要反復磨削，在加工過(guò)程中，多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變，為了減少形變，通常要加厚臺面，但我們通過(guò)振動(dòng)恢復時(shí)間的說(shuō)明已經(jīng)知道，臺面加厚質(zhì)量增加，平臺的振動(dòng)恢復時(shí)間往往成倍（甚至幾倍）增加，在很多精密光學(xué)實(shí)驗中，這是不可接受的；

● 光學(xué)平臺的磨削是有極限的，這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右，換算成平方米大約為：±0.03mm/m2，但這個(gè)平面度，同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為：000級（平面度≤3μm/m2）、00級（平面度≤5μm/m2）、0級（平面度≤10μm/m2）。換句話(huà)說(shuō)，平面度最好的光學(xué)平臺，同最低等級的大理石平臺相比，平面度還差數倍甚至一個(gè)數量級，所以若您需要高平面度的臺面，強烈建議您選購大理石平臺；

● 光學(xué)平臺的平面度在使用時(shí)，實(shí)際意義不大。我們以絕對平整的臺面（實(shí)際上是不可能的）來(lái)看，若長(cháng)×寬×厚為：2000×1000×200mm，通常調整水平時(shí)，水平儀的最小刻度為±30′，若假設實(shí)際過(guò)程中，水平方向調整精度若為5′，長(cháng)度方向取2000mm，那么，臺面長(cháng)度方向兩端的高度差=2000×tan（5′）2.9mm，也就是說(shuō)，就算絕對平整的臺面，調整水平后，臺面長(cháng)度方向兩端的高度差很有可能達到3mm，所以實(shí)際使用情況中，平面度的指標意義不大；

振幅（Amplitude）：

振動(dòng)物體離開(kāi)平衡位置的最大距離叫振動(dòng)的振幅。

振幅在數值上等于最大位移的大小。對于光學(xué)平臺系統，臺面受外力作用時(shí)，離開(kāi)平衡位置的最大距離，同光學(xué)平臺系統的結構、受力大小、受力的位置、瞬時(shí)加速度、速度、持續時(shí)間、臺面的剛性、隔振系統的阻尼比等諸多因素有著(zhù)非常復雜的非線(xiàn)性函數關(guān)系，如果標稱(chēng)振幅的具體指標，需要注明上述特定的實(shí)驗條件，否則振幅的指標，變得沒(méi)有意義。對于阻尼隔振的光學(xué)平臺，振幅通常在微米量級，而氣浮式隔振平臺，振幅通常為毫米量級甚至是厘米量級。
表面粗糙度（Surface Roughness）：

有部分廠(chǎng)家，在光學(xué)平臺的指標中，標稱(chēng)表面粗糙度的概念，往往存在一些誤導。國家標準GB/T3505-2000 中規定了評定表面粗糙度的各種參數，其中常用的是輪廓算術(shù)平均偏差Ra。輪廓算術(shù)平均偏差Ra 是指在取樣長(cháng)度內，沿測量方向(z 方向) 的輪廓線(xiàn)上的點(diǎn)與基準線(xiàn)之間距離絕對值的算術(shù)平均值。

若只標稱(chēng)Ra 的數值，但并未公布取樣長(cháng)度，這樣的數值標稱(chēng)變得毫無(wú)意義，而且有誤導消費者的可能。比如說(shuō)，標稱(chēng)表面粗糙度為：0.5 ～ 0.8μm，但若取樣長(cháng)度分別為10mm、1mm 和0.1mm，實(shí)際上表面粗糙度的差別可達百倍！根據GB1031 的推薦值：取樣長(cháng)度若取0.25mm 時(shí)，精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra ＞ 0.02 ～ 0.1μm ；當取樣長(cháng)度取0.8mm 時(shí)，普通精加工表面Ra ＞ 0.1 ～ 2μm。

根據上述說(shuō)明，取樣長(cháng)度為0.8mm，表面粗糙度為0.5 ～ 0.8μm 時(shí)，表面加工精度屬于一般水平。卓

另外，表面粗糙度通常是評定（小型）零件表面質(zhì)量的指標，屬于微觀(guān)幾何形狀誤差。加工表面的粗糙度是加工過(guò)程中多種因素( 機床刀具工件系統、加工方法、切削用量、冷卻潤滑液) 共同作用的結果。這些因素的作用過(guò)程相當復雜，而且是不斷變化的。

所以用不同加工方法或在同樣加工方法、同樣加工條件下加工出來(lái)的同一批零件，不同表面不同部位其粗糙度值也不完全相同。

撓度（Flexibility)：

撓度是指結構構件的軸線(xiàn)或中面由于彎曲引起垂直于軸線(xiàn)或中面方向的線(xiàn)位移。對于細長(cháng)物體或薄物體，撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細長(cháng)物體（如梁或柱）的撓度是指在變形時(shí)其軸線(xiàn)上各點(diǎn)在該點(diǎn)處軸線(xiàn)法平面內的位移量。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點(diǎn)在該點(diǎn)處中面法線(xiàn)上的位移量。通俗地講，撓度就是構件的豎向變形。

撓度系數同剛性系數、抗拉強度、楊氏彈性模量等類(lèi)似，是標稱(chēng)材料特性的一個(gè)常數，對于光學(xué)平臺而言，其它因素相同只有厚度不同的情況下，鋼板越厚，撓度越小。
最大相對位移（Maximum Relative Motion Value）：

光學(xué)平臺中提到的最大相對位移有別于精密位移臺中的相關(guān)概念，通常光學(xué)平臺的最大相對位移指標，是指在特定的測試條件和環(huán)境中，臺面本身的變形量。比如在一個(gè)隔離了外界振動(dòng)的環(huán)境中，放置負載和空載情況下，通過(guò)平面度檢測儀測量臺面的變形。臺面的尺寸，通常取300mm×300mm，負載安置在此面積的中心位置，負載也有一定的要求（比如取114 公斤）。
光學(xué)平臺的最大相對位移值，主要同平臺的結構和材料剛性相關(guān)，在同樣測試條件，且光學(xué)平臺的結構和材料相近的情況下，最大相對位移的值相差不大。

重復定位精度（Repeatability）：

光學(xué)平臺中的重復定位精度同精密位移臺中概念不同，光學(xué)平臺的重復定位精度，是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載，光學(xué)平臺最終穩定后的高度差。這個(gè)指標同負載的大小、加載的位置、加載時(shí)的速度、加速度、卸載時(shí)的速度、加速度等等指標有很大的關(guān)系，對于充氣式平臺，還有一個(gè)重要前提，就是加載前后，氣囊中空氣的壓力、溫度和質(zhì)量不發(fā)生變化。