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振動(dòng)是指在基準位置上產(chǎn)生的機械式搖動(dòng),也就是說(shuō),構造物或地板等受動(dòng)態(tài)外力之后,隨著(zhù)時(shí)間推移,開(kāi)始從運動(dòng)平衡位置產(chǎn)生重復運動(dòng)的現象。在各種振動(dòng)中,地基振動(dòng)是我們能夠感覺(jué)到的較重振動(dòng),但也有很多我們在日常生活中難以感知的微細振動(dòng),這種微細振動(dòng)會(huì )給半導體工程設備、電子顯微鏡、精密測量器、光學(xué)及光學(xué)相關(guān)機器之類(lèi)對振動(dòng)敏感的超精密設備性能帶來(lái)影響。